1 / 5
| التكوين الطراز | CCZK-700-ion | CCZK-1000-ion | CCZK-1300-ion | CCZK-1600-ion | CCZK-1800-ion | CCZK-2000-ion | CCZK-2200-ion |
| حجم الغرفة (مم) | D700*H700 | D1000*H1200 | D1300*H1500 | D1600*H1800 | D1800*H2000 | D2000*H2400 | D2200*H4000 |
| نظام التفريغ | مضخة الانتشار/المضخة الجزيئية + مضخة الجذور + المرحلة المزدوجة المباشرة مضخة القيادة الدوارة + مضخة الاحتجاز + مضخة التبريد (اختيارية) | ||||||
| ARC مصدر الطاقة | الجيل السابع 4 مجموعات | الجيل السابع 8 مجموعات | الجيل السابع 12 مجموعة | الجيل السابع 16 مجموعة | الجيل السابع 20 مجموعة | الجيل السابع 24 مجموعة | الجيل السابع 40 مجموعة |
| مصدر القوس | الجيل السابع 4 مجموعات | الجيل السابع 8 مجموعات | الجيل السابع 12 مجموعة | الجيل السابع 16 مجموعة | الجيل السابع 20 مجموعة | الجيل السابع 24 مجموعة | الجيل السابع 40 مجموعة |
| الانحياز مصدر الطاقة | 12 كم | 20 كم | 30 كم | 40 كم | 60 كيلو واط | 60 كيلو واط | 80 كيلو واط |
| الغاز نظام MFC | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات | نظام السحب رباعي الاتجاهات |
| نظام الخَبز | حتى 350C | حتى 350C | حتى 350C | حتى 350C | حتى 350C | حتى 350C | حتى 350C |
| نظام التحكم | نظام التحكم عن بُعد + وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة + وحدة التحكم المنطقية القابلة للبرمجة + HMI بالكامل تلقائيًا + نظام التحكم عن بُعد ( اختياري) | ||||||
| شفط مثالي | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa | 5.0*10-4pa |
| الطاقة الإجمالية | 50 كيلووات | 75 كيلو واط | 145 كيلو واط | 190 كيلو واط | 250 كيلو واط | 305 كجم | 455KW |
| الطلاء وقت الدورة | حوالي ١٥ إلى ٥٠ دقيقة دورة واحدة (وفقًا لطبقة الطبقة الخارجية من الطلاء المنتجات) | ||||||
| حجم حاوية التسليم | 1مجموعة 20GP | 1مجموعة 20GP | 1مجموعة 20GP | 1اضبط 40HQ | 1اضبط 40HQ | 1مجموعة 20 FR + 1المجموعة 40GP | 1مجموعة 20 FR + 2تعيين 40HQ |
| وقت تركيب الماكينة | 7 أيام (مهندس واحد) | 7 أيام (مهندس واحد) | 7 أيام (مهندس واحد) | 10 أيام (مهندسان) | 10 أيام (مهندسان) | 15 يومًا (مهندسان) | 20 يومًا (مهندسان) |
| مخصص الحجم متوفر | مخصص | ||||||